| نویسندگان | Mojtaba Bagherzadeh ,Zahra Hadizadeh , زكيه اكرمي ,Zahra Shams Ghahfarokhi |
|---|---|
| نشریه | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| شماره صفحات | ۱۰۵۸۴۰ |
| تاریخ انتشار | ۱۴۰۰ |
چکیده مقاله
| نویسندگان | Mojtaba Bagherzadeh ,Zahra Hadizadeh , زكيه اكرمي ,Zahra Shams Ghahfarokhi |
|---|---|
| نشریه | MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING |
| شماره صفحات | ۱۰۵۸۴۰ |
| تاریخ انتشار | ۱۴۰۰ |